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ULVAC-爱发科分子泵

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爱发科
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一、概述:日本ULVAC在提供各种真空设备的同时,还提供各种真空泵,真空计测,氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。 二、详细说明:型号 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500 UTM-1500 入口法兰尺寸 CF CF114 CF152 CF203 CF305 JIS VG 65 100 150 250 出口法兰尺寸 NW16 NW25 NW40 JIS VF50 泵速度 N2 50 190 300 550 1600 (l/s) (*1, *2) H2 40 160 260 500 1650 压缩比 N2 108 (*1, *3) H2 103 104 极限压力 10-7 10-8 (Pa) (*1, *3) 轴承形式 Top Permanent magnet bearings Bottom Pivot bearings 冷却方法 Air-cooled/water-cooled

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