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 3D演示动画展示,涡轮分子泵的结构及工作原理
3D演示动画展示,涡轮分子泵的结构及工作原理

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132019-05
涡轮分子泵常见故障-解决方法

暂无简介

182019-03
涡轮分子泵操作程序

由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的,每种泵的操作方式由制造厂家提供,涡轮分子泵的操作*简单、*便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵,当涡轮分子泵加速到正常转速时,同时也预抽完了该系统,在此初始高压强预抽阶段,油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态,排出气体的密度大,可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时,涡轮分子泵已进入正常速度运转,在泵高压缩比的情况下运转时,就可防止了油蒸汽的返流。

182019-03
如何给涡轮分子泵充气

当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为10-4~10-6Torr(或 13.33mPa~133.3μPa)*后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。

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真空设备的应急处理

高温时断水、断电。真空设备*怕的就是高温时断水、断电。因此用户*好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。 设备在高温时断水、断电,此时,泵、阀门均应处于关闭状态,操作人员应马上接通备用水或自来水,对设备进行水冷,如不能很快来电,还应打开充放气系统的手动充气阀,对设备进行充气保护,充气压力为-0.02MPa左右。然后,把控制柜上的全部按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处,定期更换,以免电极接口过热,造成密封圈损坏。

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真空泵的注意事项

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

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